三氯氫硅是由工業硅和氯化氫合成的，具體的生產方法我們一起看一下。
    包括以工業硅和氯化氫為原料，反應生成三氯氫硅，所述三氯氫硅經提純后，送入還原爐與氫氣反應，還原生成多晶硅，并收集尾氣，其中所述尾氣主要包括氫氣、氯化氫、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅，所述改進的多晶硅生產方法還包括對所述尾氣中的氯化氫進行回收循環利用的步驟，并將回收的氯化氫投入到多晶硅生產過程中與工業硅反應生成三氯氫硅。本發明采用干法處理將尾氣中的氯化氫回收，并可再用于多晶硅生產中，原料得以充分的利用，減少了污染物，解決了環境污染問題，提高了產品質量，降低了成本。
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