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電子特氣的凈化更加至關重要
現在推動科技發展的高新技術有很多,電子工業也是當之無愧的高新技術產業,電子特種氣體的發展更是直接帶動高新技術產業發展的重要關鍵,今天就為大家介紹一下這個當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。
電子氣體是指用于半導體及其它電子產品生產的氣體,與傳統的工業氣體相比,電子氣體特殊在氣體的純凈度要求極高,所以也稱為電子特種氣體。
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關聯的太陽能電池等高科技產業,或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展,對電子特氣的純度提出了越來越高的需求,電子特氣的凈化更加關鍵和重要。
目前國內的超高純度凈化技能首要依靠進口,本身的技能水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行結尾凈化,使電子特氣純度由ppm級進步到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,然后極大地改進工藝才能,下降產物缺點, 進步制程的產值,滿意下一代半導體、微電子以及關聯高技能開展的需求。本項目將構成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技能,處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產化問題。
以上內容就是言赫今天為大家介紹關于電子特氣的有關知識,相信您已經對這個新型產業有了一定的了解,如果您還有什么想要咨詢的,歡迎來電咨詢。
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